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本实用新型涉及中性原子注入装置，特别涉及一种用于等离子装置的中性原子注入装置，所述的注气通道是由三个四通的接口依次连接的笔直通道，在其中的第二四通内设有能将四通的横竖通路同时隔开的隔板，所述的隔板上设有通孔，电机运动通过驱动杆带动挡板能到达...
该专利属于韩川所有，仅供学习研究参考，未经过韩川授权不得商用。

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