下载一种具有低掺杂度漏极的TFT的技术资料

文档序号:8646910

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本实用新型提出了一种具有低掺杂度漏极的TFT,包括:依次覆盖于玻璃基板上的氧化物缓冲层、非晶硅层、栅极绝缘层和栅极金属层,各层之间按照TFT的结构连接构成TFT,所述非晶硅层经过了结晶化处理,所述非晶硅层包含两个低掺杂度离子注入区,所述栅极...
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