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本实用新型涉及一种用于晶圆表面保护膜撕除的空气扰流控制系统，包括：信号板、空气管路、电磁阀、数字显示器和“L”型风向扰流器，信号板控制电磁阀开启，空气管路通过电磁阀和数字显示器与“L”型风向扰流器相连。通过利用电磁阀控制工作时电磁阀打开气体...
该专利属于海太半导体(无锡)有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过海太半导体(无锡)有限公司授权不得商用。

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