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一种准分子激光微加工用的均束器属于激光微加工及其应用技术领域。它包括有在内伸缩镜筒Ｔ中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜Ｌ↓［１］、Ｌ↓［２］，扩束后顺次入射相互之间距离可调的正负两级...
该专利属于北京工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过北京工业大学授权不得商用。

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