【技术实现步骤摘要】
准分子激光微加工用的均束器属于激光微加工及其应用
它是一种将原始的准分子激光光束进行重新分布以达到尽可能的均匀的目的。主要应用于准分子激光微加工掩模投影成像法。通常复眼(也可称蝇眼)是泛指具有大量感测光信息而密集排列的子眼球的动物眼睛，有时也借此概念来指称根据动物仿生原理而制造的光学部件系统。本技术的复眼为小透镜阵列，可以将准分子激光进行重新分割后叠加，依据场强分布互补积分原理，可以将不能满足微加工要求的光强不均匀分布的原始激光束，变换为照明分布均匀的激光束，从而提供微加工并行投影的使用，最终使不同区域的加工效果达到均匀一致。附图说明图1中L1和L2组成扩束镜，以使入射的激光大小和透镜阵列的大小一致。复眼小透镜阵列L3和L4分别由两组取向正交的一系列条形柱面小透镜构成，每一取向的各小透镜间沿长轴的侧面粘接，两组之间前后紧贴，组成每一级复眼。两级复眼分别为正、负曲率的小透镜。两级透镜之间的距离S可调，以实现均束面上的光斑面积可变。图2中每一级复眼透镜(L3或L4)的正面示意图中，其每一个网格单元对激光束的作用均可代表为一个小双曲透镜。本技术的设计原理见图3。准分子激光经过扩束镜L1和L2扩束后，再进入7×7的复眼小透镜阵列L3和L4，被分成49束子光束，扩束镜为柱面透镜以适应准分子激光在两个方向上不同的光束宽度及发散角，由于子光束的能量差别要远远小于原始的准分子激光光束能量分布差别，子光束经过收集透镜后会聚在均束面上，由于各子光束在均束面上的大小一致，使得会聚后的光束截面的能量分布差要远远小于原始光束的差别。本技术使原始的准分子激光光束通过重新...
【技术保护点】
一种准分子激光微加工用的均束器，包括有在内伸缩镜筒Ｔ中，顺次组合排列的一系列的紫外光学透镜组成，其特征在于它是将准分子激光器出射的激光经柱面扩束镜Ｌ↓［１］、Ｌ↓［２］，扩束后顺次入射正负两级复眼小透镜阵列Ｌ↓［３］、Ｌ↓［４］，透射子波束入射到收集透镜Ｌ↓［５］，其中，两级复眼中每一级由前后紧贴正交的透镜阵列构成，透镜阵列采用了相互之间沿其长轴侧面粘接的一系列现有的条形小柱面透镜。
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员：左铁钏，李呈德，陈涛，
申请(专利权)人：北京工业大学，
类型：实用新型
国别省市：11[中国|北京]
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