下载半导体晶粒筛选设备的技术资料

文档序号:8598121

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本实用新型是一种半导体晶粒筛选设备,包括:机座,晶粒输送装置,滚轴对,滚轴驱动装置,所述滚轴对包括第一滚轴和第二滚轴,所述第一滚轴和第二滚轴安装在机座上且相隔有间隙,所述振动盘导轨将所述振动盘内的半导体晶粒输送到滚轴对的间隙上,所述第一滚轴...
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