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文档序号:8595084

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本发明提供了一种AlGaInP四元系发光二极管外延片及其生长方法。采用金属有机物化学气相沉积在GaP衬底上外延生长AlGaInP四元系半导体发光二极管,采用特殊设计的GaxIn1-xP缓冲层来减小晶格失配对外延层的影响,优化设计生长各层的工...
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