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本发明提供一种LED及其制造方法,包括:提供衬底,在所述衬底上形成介质层;在所述介质层中形成凸点;外延生长第一氮化镓层,所述第一氮化镓层的厚度小于等于所述凸点的高度;去除所述凸点,形成空洞;外延生长第二氮化镓层,形成掩埋空洞。光在掩埋空洞与...该专利属于映瑞光电科技(上海)有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过映瑞光电科技(上海)有限公司授权不得商用。
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本发明提供一种LED及其制造方法,包括:提供衬底,在所述衬底上形成介质层;在所述介质层中形成凸点;外延生长第一氮化镓层,所述第一氮化镓层的厚度小于等于所述凸点的高度;去除所述凸点,形成空洞;外延生长第二氮化镓层,形成掩埋空洞。光在掩埋空洞与...