下载一种热释电红外探测器及其制备方法的技术资料

文档序号:8595076

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本发明公开了一种热释电红外探测器及制备方法,属于电子材料与元器件技术领域。本发明的方法为:首先清洗硅衬底,并对硅衬底进行沉积处理;并在硅衬底的基片上制作带斜坡的凹槽;清洗凹槽并进行沉积处理,在凹槽表面形成阻挡层;然后对硅衬底进行清洗,吹干处...
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