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本发明公开了一种射频横向双扩散场效应晶体管,包括P型衬底,在所述P型衬底上生长P型外延层,在所述P型外延层中形成轻掺杂漂移区,在所述P型外延层上方设置有第一层法拉第盾及第二层法拉第盾,所述第一层法拉第盾及第二层法拉第盾为多晶硅法拉第盾。本发...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种射频横向双扩散场效应晶体管,包括P型衬底,在所述P型衬底上生长P型外延层,在所述P型外延层中形成轻掺杂漂移区,在所述P型外延层上方设置有第一层法拉第盾及第二层法拉第盾,所述第一层法拉第盾及第二层法拉第盾为多晶硅法拉第盾。本发...