下载射频横向双扩散场效应晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:8595038

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本发明公开了一种射频横向双扩散场效应晶体管,包括P型衬底,在所述P型衬底上生长P型外延层,在所述P型外延层中形成轻掺杂漂移区,在所述P型外延层上方设置有第一层法拉第盾及第二层法拉第盾,所述第一层法拉第盾及第二层法拉第盾为多晶硅法拉第盾。本发...
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