下载RF LDMOS器件及制造方法的技术资料

文档序号:8595032

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本发明公开了一种RF?LDMOS器件,其结构是法拉第盾为单层金属层,该单层金属层包括多晶硅部、漂移部、竖直部,竖直部在多晶硅栅右侧,竖直部上端同多晶硅部右端连通,竖直部下端同漂移部左端连通,多晶硅部的左端在多晶硅栅上方,漂移部在N型漏端轻掺...
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