下载LDMOS晶体管及其制作方法的技术资料

文档序号:8595029

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本发明提供了一种LDMOS晶体管及其制作方法,通过在其源区、漏区之间设置多个STI结构,提高了晶体管的击穿电压,避免了STI结构宽度尺寸扩大时其底部中央区域突起的问题;在现有LDMOS晶体管制作工艺的基础上,本发明中LDMOS晶体管的制作没...
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