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本发明提供一种制作氧化物薄膜晶体管的方法，包含：依序于基板上形成栅极、半导体绝缘层以及金属氧化物层，接着于金属氧化物层上利用一灰阶光罩形成第一图案化光阻层，并以第一图案化光阻层作为罩幕形成一图案化金属氧化物层，并移除部分第一图案化光阻层来形...该专利属于华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过华映视讯（吴江）有限公司;中华映管股份有限公司授权不得商用。