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半导体装置的制造方法和半导体装置的制造系统制造方法及图纸
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拾取系统的保持平台(10)包括第一平台(11)、支承第一平台(11)的第二平台(12)和排空管路(13),半导体芯片(1a)在粘附板(2)介于第一平台和半导体芯片之间的状态下安装于第一平台上。第一平台(11)设有多个槽(21)、凸起部(22...
该专利属于富士电机株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过富士电机株式会社授权不得商用。
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