下载氧化物薄膜晶体管的制造方法的技术资料

文档序号:8594916

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本发明公开了氧化物薄膜晶体管的制造方法,所述氧化物薄膜晶体管包括氧化物半导体层、源极和漏极,所述氧化物半导体层包括沟道区域、以及分别处于所述沟道区域两侧的第一接触区域和第二接触区域,所述源极与第一接触区域接触,所述漏极与第二接触区域接触,所...
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