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双极晶体管制造方法、双极晶体管和集成电路技术
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文档序号:8594904
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公开了一种制造双极晶体管的方法,包括:提供衬底(10),所述衬底包括通过有源区(11)与第二隔离区分离的第一隔离区(12),所述有源区包括集电极杂质;在所述衬底上方形成叠层,所述叠层包括基极层(14,14’)、所述基极层上方的硅覆盖层(15...
该专利属于NXP股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过NXP股份有限公司授权不得商用。
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