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一种超磁致伸缩微位移自感知驱动方法及执行器属于超精密加工与测量领域，特别涉及一种快速超精密定位运动控制方法和装置。方法基于逆磁致伸缩效应，外力导致超磁致伸缩材料的磁导率变化，即激励线圈的电感变化，通过测量线圈电感实现力的自感知。方法采用电感...
该专利属于哈尔滨工业大学所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨工业大学授权不得商用。

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