温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本发明公开了一种光刻机投影物镜波像差在线测量装置和方法，所述装置包括光源、投影物镜、探测器、工件台和掩模板，掩模板包括多照明模式模板和测试标记，激光将该测试标记经由投影物镜成像；探测器具有参考标记和在该参考标记下方的光电传感器，测试标记进行...
该专利属于中国科学院光电研究院所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院光电研究院授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。