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一种光刻设备中超高压汞灯的恒光强控制电路，包括光强反馈模块，将光强基准信号与采样的超高压汞灯紫外光强信号差分放大形成光强反馈信号输出；功率反馈模块，将采样的超高压汞灯电压及电流信号运算放大后相乘形成功率反馈信号，经滤波、信号调节后输出；运算...
该专利属于中国电子科技集团公司第四十五研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国电子科技集团公司第四十五研究所授权不得商用。

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