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本发明涉及一种压印方法、压印装置和设备制造方法。本发明的压印方法包括以下步骤：把基板保持在保持面上的保持步骤；使在基板上形成图案处的基板侧图案区的形状变形的变形步骤；使经变形的基板侧图案区上的树脂与模具接触的接触步骤；固化树脂的固化步骤；和...
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