下载阵列基板修复装置及方法的技术资料

文档序号:8593319

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明涉及一种阵列基板修复装置及方法,其中该装置包括:激光源,用于修补阵列基板上的多余光阻;检测装置,用于检测阵列基板上是否存在多余光阻;过滤镜片,用于使激光源出射的光照射在阵列基板的多余光阻上;过滤镜片设置在阵列基板上方,激光源设置在过滤...
该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。