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本发明涉及一种阵列基板修复装置及方法,其中该装置包括:激光源,用于修补阵列基板上的多余光阻;检测装置,用于检测阵列基板上是否存在多余光阻;过滤镜片,用于使激光源出射的光照射在阵列基板的多余光阻上;过滤镜片设置在阵列基板上方,激光源设置在过滤...该专利属于深圳市华星光电技术有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过深圳市华星光电技术有限公司授权不得商用。
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本发明涉及一种阵列基板修复装置及方法,其中该装置包括:激光源,用于修补阵列基板上的多余光阻;检测装置,用于检测阵列基板上是否存在多余光阻;过滤镜片,用于使激光源出射的光照射在阵列基板的多余光阻上;过滤镜片设置在阵列基板上方,激光源设置在过滤...