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本发明涉及一种极紫外光刻胶超高真空加热处理的检测装置与方法，该装置操作简便，可以在实验室用于极紫外光刻胶配方工艺筛选，提供所考察的极紫外光刻胶的真空加热产气情况。利用本发明装置和检测方法，可以同时得到真空加热情况下产生气体的速率和总的产气量...
该专利属于中国科学院化学研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院化学研究所授权不得商用。

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