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一种石英晶体微天平检测装置制造方法及图纸
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下载一种石英晶体微天平检测装置的技术资料
文档序号:8592714
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本发明公开了一种石英晶体微天平检测装置,包括底座、封盖、硅胶垫片和石英晶片;石英晶片位于底座凹槽内,其底端中心加工有上下两面分别设有上电极和下电极的石英晶片凹槽;硅胶垫片上下两面分别与封盖和底座相连,且石英晶片凹槽左右两端与硅胶垫片相连;进...
该专利属于东南大学所有,仅供学习研究参考,未经过东南大学授权不得商用。
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