温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

本申请的发明涉及一种基板上表面检测方法及划线装置。在划线装置等中，在检测至基板为止的距离的情况下，如果以划线头的上部位置为原点，则每个划线装置的原点位置不同，存在无法制作共用的参照表的缺点。本发明是利用非接触传感器算出至平台为止的距离d1，...
该专利属于三星钻石工业股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过三星钻石工业股份有限公司授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。