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本发明公开了一种用于半导体厂房的洁净室，包括新风输送系统、排气系统和一大型洁净空间，所述大型洁净空间内具有中央走道和至少一条生产走道；所述中央走道和所有生产走道的四周围设有隔板，使其所在的至少一部分架构空间、洁净空间，以及高架地板所在的空间...
该专利属于亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过亚翔系统集成科技（苏州）股份有限公司授权不得商用。

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