下载多晶硅铸锭工艺的技术资料

文档序号:8590633

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本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺,包括步骤:1)对单质硅进行加热,直至单质硅融化;2)冷却熔融的单质硅,并使其凝固,进行长晶,形成硅锭;3)对硅锭进行多次退火处理,且退火温度逐次降低。如此对硅锭进行多次退火处理,可以相应的降低相邻的两次退火温...
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