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多晶硅铸锭工艺制造技术
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文档序号:8590633
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本发明公开了一种多晶硅铸锭工艺,包括步骤:1)对单质硅进行加热,直至单质硅融化;2)冷却熔融的单质硅,并使其凝固,进行长晶,形成硅锭;3)对硅锭进行多次退火处理,且退火温度逐次降低。如此对硅锭进行多次退火处理,可以相应的降低相邻的两次退火温...
该专利属于天津英利新能源有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过天津英利新能源有限公司授权不得商用。
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