多晶硅铸锭工艺制造技术

本发明专利技术公开了一种多晶硅铸锭工艺，包括步骤：1）对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2）冷却熔融的单质硅，并使其凝固，进行长晶，形成硅锭；3）对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐次降低。如此对硅锭进行多次退火处理，可以相应的降低相邻的两次退火温度之间所形成的热应力，多次消除硅锭中的热应力，与现有技术中只进行一次退火处理相比，可有效地降低硅锭中的热应力。

【技术实现步骤摘要】

本专利技术涉及太阳能
，更具体地说，涉及一种多晶硅铸锭工艺。
技术介绍
多晶硅是单质硅的一种形态，熔融的单质硅在过冷条件下凝固时，硅原子以金刚石晶格形态排列成许多晶核，这些晶核长成晶面取向不同的晶粒，这些晶粒接合起来便形成多晶硅。在太阳能光伏工业中生产太阳能光伏产品的工艺包括多晶硅铸锭、切割成片、制成电池片和封装为太阳能组件，可见多晶硅铸锭是太阳能光伏工业的重要组成部分，是生产太阳能光伏产品的首个环节。其中多晶硅铸锭工艺是采用多晶硅铸锭炉完成的，其包括步骤1)对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2)冷却使熔融的单质硅凝固，进行长晶；3)退火处理，并冷却。硅锭由于受热或者散热不均匀会存在温度差异，导致各处膨胀变形或收缩变形不一致，相互约束而产生内应力，因此采用退火工艺即使生长完成的晶粒在一定温度下保持足够时间，然后以适宜的速度冷却，以降低硅锭的热应力，稳定尺寸，减少变形和裂纹的形成。然而现有技术中只进行一次退火工艺，一般是将生长完成后的晶粒降温至1300°C -1400°C之间的某一设定温度，并进行一定时间的保温处理，而后再以一定速度冷却。具体的可以将生长完成后的晶粒降温至137本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种多晶硅铸锭工艺，其特征在于，包括步骤：1）对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2）冷却熔融的单质硅，并使其凝固，进行长晶，形成硅锭；3）对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐次降低。

【技术特征摘要】
1.一种多晶硅铸锭工艺，其特征在于，包括步骤1)对单质硅进行加热，直至单质硅融化；2)冷却熔融的单质硅，并使其凝固，进行长晶，形成硅锭；3)对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐次降低。2.根据权利要求1所述的多晶硅铸锭工艺，其特征在于，对硅锭进行多次退火处理，且退火温度逐渐降低具体为31)将硅锭降温至第一设定温度，并保温第一设定时间段；32)第一次冷却；33)将硅锭降温至第二设定温度，并保温第...

【专利技术属性】
技术研发人员：唐自成，刘华，王悦，王玉卓，任建华，
申请(专利权)人：天津英利新能源有限公司，
类型：发明
国别省市：