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一种直拉硅单晶用石墨导流筒基体强化及表面涂层的方法,包括以下步骤:(1)表面预处理;(2)采用碳氢气体进行化学气相沉积,强化基体;(3)按质量配比碳化硅粉∶硅粉∶溶剂=1∶(3~5)∶(6~8)的比例将各原料混合,搅拌均匀,得浆料;将所得浆...
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