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本发明公开了一种基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备，包括沉积腔室、等离子气体产生系统、射频电源匹配器、射频电源、气压采集电路、模拟退火控制电路、抽气装置以及充气装置。本发明提供的基于模拟退火算法的自适应压力控制的原子层沉积设备...
该专利属于中国科学院微电子研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国科学院微电子研究所授权不得商用。

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