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本发明涉及一种氧化铌旋转靶材及其制备方法，其制备方法包括：氧化铌喷涂粉的制备，喷涂基体的处理，喷涂打底层，用等离子喷涂工艺在基体管上喷涂氧化铌喷涂粉。通过本发明方法制备的氧化铌旋转靶材结构致密、成分均匀，无裂纹，其喷涂长度和直径不受限制，厚...
该专利属于西北稀有金属材料研究院所有，仅供学习研究参考，未经过西北稀有金属材料研究院授权不得商用。

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