下载改良的硅片收集装置的技术资料

文档序号:8587119

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本发明涉及一种新型的硅片收集装置,包括收集槽,其中,所述收集槽两壁中各设有一空腔,所述空腔外壁上设有出风装置,内壁均匀设有若干纵向通孔,且所述的出风装置内置一定时控制阀。两壁的出风装置通过设定定时控制阀分时段分别出风,可以使硅片较为均匀的落...
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