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本实用新型提供一种等离子反应器，具有电感耦合模式和电容耦合模式两者工作模式。所述反应器包括一个反应腔侧壁和一个覆盖在所述侧壁上方的绝缘材料窗，所述反应器内下方包括一个基座，所述绝缘材料窗上方依次叠放有导电屏蔽板和电感线圈，其中导电屏蔽板和电...
该专利属于中微半导体设备（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中微半导体设备（上海）有限公司授权不得商用。

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