下载晶圆承载组件的技术资料

文档序号:8581497

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本实用新型公开了一种晶圆承载组件,所述晶圆承载组件包括承载板、压板及多数固定元件,承载具有凹陷区,凹陷区内开设有通孔,通孔的周缘有阶梯结构,并在通孔内具延伸块,延伸块成型有供晶圆置放的台阶,并在台阶设有供晶圆抵贴的定位面;压板成型多数浮凸部...
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