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一种涉及扩散炉领域的防泄露液态源扩散炉，所述的扩散炉包含扩散炉本体，扩散炉本体中的运载N2气路、O2气路以及吹扫N2气路均安装有对应的流量计和隔膜阀；运载N2气路中位于N2隔膜阀与源瓶进气阀之间设有源瓶压力传感器；扩散炉本体内的反应炉设置有...
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