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本实用新型公开一种DC等离子体系统(1)，包括连接到等离子体腔室(5)的阴极(K)和阳极(A)的DC电源(2)，其中所述等离子体腔室(5)的所述阳极(A)在等离子体处理期间电浮置，提供连接在阳极电势与等离子体腔室电势之间的开关(S)，其通常...
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