温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。

在间歇移动的可动台上设置的下部电极鞘里能容纳传感器部件，支承可动台的台座上也可以升降地设置上部电极鞘，可动台在下部电极鞘实质上与上部电极鞘轴心相一致的各个位置上停止，随后上部电极鞘下降接触下部电极鞘而形成密封空间，规定成分气体充入该密封空间...
该专利属于株式会社生方制作所所有，仅供学习研究参考，未经过株式会社生方制作所授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示：您尚未登录，请点 登陆 后下载，如果您还没有账户请点 注册 ，登陆完成后，请刷新本页查看技术详细信息。