下载高应力平衡的红外探测器的技术资料

文档序号:8579598

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本实用新型涉及红外成像技术领域,公开了一种高应力平衡的红外探测器,包括基底和微结构,微结构包括桥面、设置在桥面相对侧方向的两只桥腿和锚柱,桥腿的一边端部与桥面连接在一起,另一边端部通过锚柱连接在基底上,基底表面上设有反射膜层,桥面是悬空在该...
该专利属于武汉高德红外股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过武汉高德红外股份有限公司授权不得商用。

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