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一种用来从衬底表面选择性地消除不希望有的材料的设备和方法，它在不希望有的材料衬底表面上提供一个惰性气体流，同时用载能光子辐照不希望有的材料。本发明使得有可能清除不希望有的材料而不改变被清除的不希望有的材料下方或附近的材料的物理性质。本发明可...
该专利属于大锅有限合伙人公司所有，仅供学习研究参考，未经过大锅有限合伙人公司授权不得商用。

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