下载气体激励装置的技术资料

文档序号:857881

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特别适用于表面处理气体的本激励装置具有一个气体激励室(20),设有一个与一次气体供应源(36)连通的气体进入通道(28)和一个激励气体用的输出通道(30)。它包括一个文丘里效应收敛口(34),该口安排在一次气体供应源(36)和所说进入通道(...
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