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本实用新型公开了一种聚合物微流控芯片键合装置，包括激光发生器、可控光学系统、图像识别与处理系统、控制系统、位移控制平台，其特征在于：所述可控光学系统中，设有二元光学元件，激光束经二元光学元件衍射在位移控制平台上的待键合芯片处，形成的光斑大小...
该专利属于苏州大学所有，仅供学习研究参考，未经过苏州大学授权不得商用。

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