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本实用新型公开了一种新型薄膜太阳电池激光刻蚀装置，包括激光器、扩束镜、聚焦镜和光束整形装置，所述扩束镜安装于激光器和聚焦镜之间，所述光束整形装置安装于激光器和所述扩束镜之间。本实用新型使用近似平顶的激光光斑对太阳电池的膜层进行刻划，相比高斯...
该专利属于四川汉能光伏有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过四川汉能光伏有限公司授权不得商用。

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