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本实用新型提供一种减压干燥装置，包括第一盖体和用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间的第二盖体，所述第二盖体上设有排气孔；所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。本实用新型将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待...该专利属于京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过京东方科技集团股份有限公司;北京京东方显示技术有限公司授权不得商用。