一种减压干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种减压干燥装置，包括第一盖体和用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间的第二盖体，所述第二盖体上设有排气孔；所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。本实用新型专利技术将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力。而且，本实用新型专利技术将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，从而提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及干燥处理
，特别是指一种对基板进行干燥处理的减压干燥装置。
技术介绍
减压干燥装置是用于为涂覆有光刻胶、涂料等混合化学品的基板提供均与减压干燥处理的设备。如图1所示，为现有的一种减压干燥装置的结构示意图，该装置包括第一盖体100、第二盖体200和载物台300，该载物台300设置在由第一盖体和第二盖体形成的容纳空间中，用于放置待干燥的基板400，该第二盖体200上设有排气孔201，通过抽气装置将容纳空间中的气体从排气孔抽出，图中的箭头方向为气体流向。由于第一盖体朝向载物台的面为平整面，无法对待干燥基板进行局部区域加压。当需要对基板表面局部进行减薄时，此时只能整体增大抽吸力，导致了基板表面各处的抽吸力都同时增大，无法实现局部调整。而且，由于待干燥基板400的表面与第一盖体之间的距离相同，而待干燥基板400端部区域距离排气孔较近，使得端部区域受到的吸力较大，而位于中部区域由于距离排气孔较远，使得该处的吸力较小。当进行抽气时，会出现待干燥基板上的吸力不均匀，导致抽气效率不同，即造成光刻胶内溶剂量差异，使得基板表面膜的干燥均一性遭到破坏，将会导致阵列基板因均匀所造成mura问题，对于液晶显示器的所有层皆有不同程度的影响。
技术实现思路
本技术要解决的技术问题是，现有的减压干燥装置对待干燥基板进行干燥时，由于第一盖体为平整面，无法对待干燥基板进行局部区域减薄。而且由于待干燥基板距离排气口的距离不同，会出现待干燥基板上的吸力不均匀，导致抽气效率不同，使得基板表面膜的干燥均一性遭到破坏。为解决上述技术问题，本技术的实施例提供一种减压干燥装置，包括第一盖体；第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。优选地，所述凸起与所述第一盖体之间可移动配合。优选地，所述凸起与所述第一盖体之间可拆卸连接。优选地，所述凸起为对称结构。优选地，所述第一盖体包括第一端和第二端，所述凸起距离第一端的距离为第一长度，所述凸起距离第二端距离为第二长度。优选地，所述第一长度和/或第二长度为第一盖体长度的1/4 1/2。优选地，所述凸起的表面为阶梯状。优选地，所述凸起的表面为曲面。优选地，所述排气孔与一用于抽取容纳空间中气体的抽气泵相连接。优选地，所述载物台上设有用于调整载物台高度的调节器。本技术的上述技术方案的有益效果如下本技术将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力，从而实现了对基板上任意位置表面膜厚度的调整。而且，本技术将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性，从而实现了基板表面膜的干燥均一性。附图说明图1为现有一种减压干燥装置的结构示意图；图2为本技术一种实施例的减压干燥装置的结构示意图；图3为本技术一种实施例的第一盖体的结构示意图；图4为本技术一种实施例的凸起的放大示意图；图5为本技术第二种实施例的凸起的放大示意图；图6为本技术第二种实施例的减压干燥装置的结构示意图。图中100第一盖体、101凸起、102第一端、103第二端、200第二盖体、201排气孔、202控制阀、300载物台、301调节器、400待干燥基板、500抽气泵。具体实施方式为使本技术要解决的技术问题、技术方案和优点更加清楚，下面将结合附图及具体实施例进行详细描述。如图2所示，为本技术一种实施例的减压干燥装置的结构示意图，该减压干燥装置包括第一盖体100和用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间的第二盖体200，所述第二盖体200上设有排气孔201，通过该排气孔向外部排气。在所述容纳空间中设置有用于承载待干燥基板400的载物台300，所述第一盖体100在朝向载物台的面上设有凸起101。本技术将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力，从而实现了对基板上任意位置表面膜厚度的调整。本技术的凸起101与第一盖体100之间可以是各种适合的配合方式，优选地，所述凸起101与所述第一盖体100之间可移动配合，实现了凸起101的位置可调，从而便于调整待干燥基板上任意位置的厚度。由于基板在干燥时固定不动，为此通过移动凸起101，达到调整该处待干燥基板上的抽吸力，从而实现了调整待干燥基板的厚度的目的。该凸起101与所述第一盖体100之间可移动配合的方式可以是卡槽配合、链条配合等等。例如在第一盖体100的面上设有凹槽，所述凸起上设有卡勾，通过该卡勾在凹槽中滑动，实现了凸起与第一盖板的可移动配合。为了实现凸起的可更换，达到更换不同凸起的目的，优选地，所述凸起101与所述第一盖体100之间可拆卸连接。可拆卸连接的方式可以是卡接、粘结、铰接、扣接、螺纹装配等等。例如该凸起101上设有吸盘，通过该吸盘吸合在第一盖板上，当需要更换其他凸起时，可以随时拿下凸起进行更换，通过吸盘来实现凸起与第一盖板之间的可拆卸连接。如图3所示，为本技术一种实施例的第一盖体的结构示意图，该实施例的第一盖体100包括第一端102和第二端103，第一端102和第二端103之间的距离为L，长度L即为第一盖体100的长度。该凸起101距离第一端为第一长度LI，距离第二端为第二长度L2。第一长度LI和第二长度L2可以根据需要来设定，优选地，所述第一长度LI和第二长度L2的差小于第一阈值,该第一阈值也是根据需要来设定。当第一阈值为0时,第一长度LI和第二长度L2相等,该凸起101设置在第一盖体的中间位置。第一长度LI和第二长度L2的长度可以根据实际需要来选取，优选地，所述第一长度LI为第一盖体长度L的1/4 1/2，所述第二长度L2为第一盖体长度L的1/4 1/2。本技术将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，从而提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性。如图4和5所示，为本技术凸起的放大示意图，本技术的凸起101可以为各种适合的凸起结构，优选地，所述凸起为对称结构。由于待干燥基板为对称结构，该待干燥基板的对称轴距离排气孔距离最远，该对称轴两侧的基板距离排气孔逐渐减小，基板边缘距离排气孔最近。为此通过将凸起设计为轴对称结构，使得与待干燥基板上的压力分布相对应。图4示出了凸起的表面为阶梯状，该凸起成左右对称结构，对称轴线A-A位于阶梯状凸起的中心线上。图5示出了凸起的表面为曲面，该凸起也为轴对称结构，对称轴线A-A位于圆弧形凸起的中心线上。本技术将该凸起设置成轴对称结构，使得与待干燥基板上的压力分布相对应，从而提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性，从而实现了基板表面膜的干燥均一丨I生。如图6所示，为本技术第二种实施例的减压干燥装置的结构示意图，该实施例的减压干燥装置包括抽气泵500，抽气泵500与排气孔本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，包括：第一盖体；第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，包括 第一盖体； 第二盖体，用干与第一盖体相配合形成ー用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔； 载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板； 其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可移动配合。3.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起为对称结构。5.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述第一盖体包括第一端和第ニ端，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周子卿，金基用，王涛，郑铁元，郭总杰，张振宇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：