一种减压干燥装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种减压干燥装置，包括第一盖体和用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间的第二盖体，所述第二盖体上设有排气孔；所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。本实用新型专利技术将第一盖体朝向载物台的面上设有凸起，通过凸起来缩小待干燥基板和第一盖体之间的空间，从而增大待干燥基板和凸起位置处的第一盖体之间的压力，可以用于提高待干燥基板上任意位置的抽吸力。而且，本实用新型专利技术将该凸起设在距离第一盖体两端一定距离的位置，有利于增大待干燥基板中间区域的压力，从而提高了待干燥基板的进行干燥处理的均匀性。（*该技术在2022年保护过期，可自由使用*）

【技术实现步骤摘要】

本技术涉及干燥处理
，特别是指一种对基板进行干燥处理的减压干燥装置。
技术介绍
减压干燥装置是用于为涂覆有光刻胶、涂料等混合化学品的基板提供均与减压干燥处理的设备。如图1所示，为现有的一种减压干燥装置的结构示意图，该装置包括第一盖体100、第二盖体200和载物台300，该载物台300设置在由第一盖体和第二盖体形成的容纳空间中，用于放置待干燥的基板400，该第二盖体200上设有排气孔201，通过抽气装置将容纳空间中的气体从排气孔抽出，图中的箭头方向为气体流向。由于第一盖体朝向载物台的面为平整面，无法对待干燥基板进行局部区域加压。当需要对基板表面局部进行减薄时，此时只能整体增大抽吸力，导致了基板表面各处的抽吸力都同时增大，无法实现局部调整。而且，由于待干燥基板400的表面与第一盖体之间的距离相同，而待干燥基板400端部区域距离排气孔较近，使得端部区域受到的吸力较大，而位于中部区域由于距离排气孔较远，使得该处的吸力较小。当进行抽气时，会出现待干燥基板上的吸力不均匀，导致抽气效率不同，即造成光刻胶内溶剂量差异，使得基板表面膜的干燥均一性遭到破坏，将会导致阵列基板因均匀所造成mura问本文档来自技高网...

【技术保护点】
一种减压干燥装置，包括：第一盖体；第二盖体，用于与第一盖体相配合形成一用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔；载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板；其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。

【技术特征摘要】
1.一种减压干燥装置，包括 第一盖体； 第二盖体，用干与第一盖体相配合形成ー用于放置待干燥基板的容纳空间，所述第二盖体上设有排气孔； 载物台，设置在容纳空间中，用于承载待干燥基板； 其特征在于，所述第一盖体在朝向载物台的面上设有凸起。2.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可移动配合。3.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起与所述第一盖体之间可拆卸连接。4.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述凸起为对称结构。5.根据权利要求1所述的减压干燥装置，其特征在于，所述第一盖体包括第一端和第ニ端，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：周子卿，金基用，王涛，郑铁元，郭总杰，张振宇，
申请(专利权)人：京东方科技集团股份有限公司，北京京东方显示技术有限公司，
类型：实用新型
国别省市：