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本发明提供一种在衬底（２２）上蒸发目标结构（２４）的系统（１０，３３）和方法。根据本发明，计算在目标结构（２４）中沉积单位能量所需要的入射光束能量作为波长的函数，然后，对于入射光束能量，计算预计沉积在衬底（２２）中的能量作为波长的函数。找出...
该专利属于通用扫描公司所有，仅供学习研究参考，未经过通用扫描公司授权不得商用。

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