下载射频横向双扩散场效应晶体管及其制造方法的技术资料

文档序号:8564030

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本发明公开了一种射频横向双扩散场效应晶体管,在P型衬底上生长外延层,所述外延层结构为从下往上分别为P型轻掺杂外延层、N型轻掺杂外延层、P型重掺杂外延层与N型重掺杂外延层的层叠结构。本发明的RFLDMOS具有比普通RFLDMOS更低的RDSO...
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