下载半导体器件和半导体器件制造方法的技术资料

文档序号:8564016

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本发明的实施例提供一种半导体器件和半导体器件制造方法,可减小连接电极到配线构件的电阻变化且改善配线可靠性。形成电极通过其延伸的孔,并且在包括配线的配线层上执行过蚀刻工艺。然后,通过在该孔中嵌入铜,可形成由铜制作的电极。在电极通过作为连接区域...
该专利属于索尼公司所有,仅供学习研究参考,未经过索尼公司授权不得商用。

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