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本发明公开了一种能够提高雪崩耐量能力的超结器件结构,包括超结器件的元胞区域、终端,终端设置于元胞区域的外围;在超结器件的元胞区域中,元胞沟槽的顶层覆盖有元胞体注入区,多块元胞N型离子注入区覆盖于元胞体注入区内的部分区域;元胞N型离子注入区的...该专利属于上海华虹NEC电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过上海华虹NEC电子有限公司授权不得商用。
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本发明公开了一种能够提高雪崩耐量能力的超结器件结构,包括超结器件的元胞区域、终端,终端设置于元胞区域的外围;在超结器件的元胞区域中,元胞沟槽的顶层覆盖有元胞体注入区,多块元胞N型离子注入区覆盖于元胞体注入区内的部分区域;元胞N型离子注入区的...