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本发明提供一种用于晶圆制造的传送手臂，包括一呈Y形的机械手臂和设置在机械手臂上的至少两个吸嘴，每个所述吸嘴通过真空通道分别与一独立的真空系统连通。其有益效果是，通过将传送手臂上的吸嘴分别连通独立的真空系统，使传送手臂在吸取翘曲较大的晶圆时，...该专利属于深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳光启高等理工研究院;深圳光启创新技术有限公司授权不得商用。