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形成半导体器件的连接突块的方法技术
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下载形成半导体器件的连接突块的方法的技术资料
文档序号:8563899
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本发明涉及形成用于半导体器件的连接突块的方法,在所述半导体器件中形成重布线图案。所述方法包括:制备半导体衬底,在半导体衬底上通过钝化膜部分地暴露出焊盘;在焊盘和钝化膜上形成种子层;形成包括开口图案的光致抗蚀剂图案,所述开口图案包括暴露出焊盘...
该专利属于三星电子株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过三星电子株式会社授权不得商用。
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