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一种电力半导体芯片台面处理方法技术
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文档序号:8563847
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本发明涉及一种电力半导体芯片台面处理方法,包括对芯片台面依次进行腐蚀、清洗和烘干处理,其特征是:腐蚀处理时,所述芯片整齐重叠成柱状,并横置于有相应凹槽的耐腐蚀篮中,然后将该芯片和耐腐蚀篮一起放入盛有腐蚀液的耐腐蚀盘内,所述腐蚀液面高出芯片顶...
该专利属于浙江正邦电力电子有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过浙江正邦电力电子有限公司授权不得商用。
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